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GB/T 41751-2022 氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑測試方法

發布時間 | 2024-02-02 11:22 分類 | 行業標準 點擊量 | 943
導讀:本文件規定了利用高分辨X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑的方法。本文件適用于化學氣相沉積及其他方法制備的氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑的測試,氮化鎵外延片晶面曲率半徑的測試...

標準編號:GB/T 41751-2022

標準名稱:氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑測試方法

起草單位:中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國電子科技集團公司第四十六研究所、哈爾濱奧瑞德光電技術有限公司、廈門柯譽爾科技有限公司、山西華晶恒基新材料有限公司、福建兆元光電有限公司。

歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)

發布日期:2022-10-12

實施日期:2023-02-01

作者:粉體圈

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