標準編號:GB/T 41751-2022
標準名稱:氮化鎵單晶襯底片晶面曲率半徑測試方法
起草單位:中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國電子科技集團公司第四十六研究所、哈爾濱奧瑞德光電技術有限公司、廈門柯譽爾科技有限公司、山西華晶恒基新材料有限公司、福建兆元光電有限公司。
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)
發布日期:2022-10-12
實施日期:2023-02-01
作者:粉體圈
總閱讀量:943