9月8日，鄭州經(jīng)開(kāi)區(qū)舉行了河南四方達(dá)超硬材料股份有限公司旗下鄭州天璇新材料有限公司的“年產(chǎn)70萬(wàn)克拉功能性金剛石產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”開(kāi)工儀式。

（圖片來(lái)源：大河財(cái)立方）

MPCVD（Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition）法制備的金剛石是目前電子級(jí)金剛石生產(chǎn)的最佳技術(shù)路線，是金剛石半導(dǎo)體材料的最佳工藝方法，大致過(guò)程是：將氣體混合物引入反應(yīng)室，然后通過(guò)微波能量產(chǎn)生等離子體。等離子體中的碳源氣體（通常是甲烷）分解為碳原子，然后沉積在基底上，逐漸生長(zhǎng)出金剛石薄膜。

據(jù)方海江介紹，我國(guó)在MPCVD技術(shù)的研發(fā)起步晚，針對(duì)這種情況，四方達(dá)將CVD金剛石列入核心戰(zhàn)略，加大研發(fā)投入，累計(jì)已投入2億元，完成MPCVD設(shè)備、CVD金剛石合成工藝開(kāi)發(fā)與驗(yàn)證，成功研發(fā)兩英寸的光學(xué)級(jí)金剛石（窗口材料），采用自主技術(shù)建設(shè)的功能性金剛石產(chǎn)線已建成投產(chǎn)。

目前鄭州經(jīng)開(kāi)區(qū)已集聚四方達(dá)、鉆石精密、聯(lián)合精密等超硬材料領(lǐng)域頭部企業(yè)7家，有基礎(chǔ)更有優(yōu)勢(shì)，為超硬材料產(chǎn)業(yè)建設(shè)蓄積了后勁。本次項(xiàng)目總投資7億元，主要產(chǎn)品為超精密刀具單晶金剛石、光學(xué)級(jí)金剛石、芯片熱沉半導(dǎo)體及功率器件用金剛石等，本次開(kāi)工項(xiàng)目第一階段以培育鉆石為主。項(xiàng)目預(yù)計(jì)2024年投產(chǎn)，投產(chǎn)后有望成為國(guó)內(nèi)最大的CVD金剛石生產(chǎn)基地。

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