12:00-13:30

午餐

17:30-19:30

晚餐

19:30-21:00

圓桌論壇（主題：半導(dǎo)體CMP拋光“卡脖子”難點(diǎn)探討）

地點(diǎn)：四樓海悅廳

●會(huì)議開幕　　

主持人：孫柯 中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)粉體技術(shù)分會(huì)秘書長 粉體圈總經(jīng)理

08:30-08:35

參會(huì)嘉賓介紹

●技術(shù)交流    

主持人：張保國 教授、博士生導(dǎo)師 河北工業(yè)大學(xué)

時(shí)間

報(bào)告題目及報(bào)告人

08:35-09:00

集成電路CMP納米磨料應(yīng)用介紹

尹先升 博士、研發(fā)經(jīng)理

安集微電子科技（上海）股份有限公司

09:00-09:25

稀土鈰基CMP拋光材料的制備與應(yīng)用

梅燕 博士、教授級(jí)實(shí)驗(yàn)師

北京工業(yè)大學(xué)

09:25-09:50

單晶SiC的超精密拋光研究進(jìn)展

路家斌 教授、博士生導(dǎo)師

廣東工業(yè)大學(xué)

09:50-10:15

納米金剛石及其應(yīng)用

付存 研發(fā)經(jīng)理

河南聯(lián)合精密材料股份有限公司

10:15-10:45

茶歇

●技術(shù)交流   
主持人：路家斌 教授、博士生導(dǎo)師 廣東工業(yè)大學(xué)

10:45-11:10

高世代液晶顯示玻璃基板用鑭鈰基稀土拋光粉開發(fā)與應(yīng)用

王寧 博士、研究主管

有研稀土新材料股份有限公司

11:10-11:35

拋光機(jī)臺(tái)在大面積碲鋅鎘襯底拋光工藝中的應(yīng)用

James McAneny 教授/技術(shù)總監(jiān)

英國愛丁堡大學(xué)/北京艾姆希半導(dǎo)體科技有限公司

11:35-12:00

CMP拋光用高純氧化鋁的制備及應(yīng)用

楊叢林 所長  

中鋁山東有限公司研究院新材料研究所

12:00-12:10

合影留念

12:10-14:00         午 餐    

●技術(shù)交流   

主持人：孫亞光 博士 河南工業(yè)大學(xué)   

14:00-14:25

半導(dǎo)體材料表面拋光及清洗加工技術(shù)

張保國 教授、博士生導(dǎo)師

河北工業(yè)大學(xué)微電子技術(shù)與材料研究所

14:25-14:50

半導(dǎo)體襯底CMP材料的研究進(jìn)展

張澤芳 博士、總經(jīng)理

上海映智研磨材料有限公司/衢州博來納潤電子材料有限公司

14:50-15:15

納米二氧化硅的制備及在CMP中的應(yīng)用

李薇薇 博士、教授、研發(fā)總監(jiān)

河北工業(yè)大學(xué)/廣東惠爾特納米科技有限公司

15:15-15:40

金剛石微粉在第三代半導(dǎo)體精密加工方面的應(yīng)用

張洪濤 董事長

天鑒碳材料有限公司

15:40-16:05

茶歇

●技術(shù)交流  

主持人：梅燕 博士、教授級(jí)實(shí)驗(yàn)師 北京化工大學(xué)

16:05-16:30

精密氧化鋁拋光液的制備與應(yīng)用

紀(jì)發(fā)明  研發(fā)總監(jiān)

鎮(zhèn)江瑞斯普新材料科技有限公司

16:30-16:55

集成電路Cu-CMP用新型拋光液研究

王寧 博士、副研究員

中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院 

16:55-17:20

納米團(tuán)聚磨料在拋光墊和拋光液領(lǐng)域中的應(yīng)用

高德耀 總經(jīng)理

湖南麥克斯菲爾新材料有限公司

17:20-17:45

顆粒檢測在研磨拋光領(lǐng)域的解決方案以及應(yīng)用

周文健 高級(jí)應(yīng)用工程師

丹東百特儀器有限公司

17:45-18:10

精密拋光磨具的制備及其在新領(lǐng)域中應(yīng)用

徐明艷 拋光事業(yè)部部長、高工

鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司

18:30-20:00    答謝晚宴