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CMPPAD精密拋光墊

SUBA合成纖維聚合物拋光墊

CMPPAD系列拋光墊片可以對硅片、砷化鎵、磷化銦、玻璃硬盤、光學玻璃、金屬制品、藍寶石晶片、碳化硅晶片等材質或工件進行精密拋光。SUNHIN精拋光布 (Final polishing pad)以聚氨酯為主體材料,經涂層,發泡,削平及拉毛等工藝制成,它的特點是毛長,微孔大,吸藥性強,同時,背面涂有高阻水性膠膜,粘結強度大,不宜脫落。SUNHIN擁有專門在拋光墊表面制作各種形狀溝槽的設備及工藝,可根據用戶要求設計制作各種形狀溝槽。溝槽邊緣成圓弧狀,由于無切銑從而無碎屑及毛絲殘留,也無表面硬化問題。

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